産(chan)品時間(jian)：2025-12-01
微小(xiǎo)氣體流(liu)量計FS4001專(zhuān)門爲各(ge)類小流(liu)量氣體(ti)的測量(liang)和過🐅程(cheng)控❗制而(ér)設計的(de)。這一系(xì)列傳感(gan)器均采(cǎi)用本公(gōng)司🈚自主(zhǔ)研發的(de)微機電(dian)系統（MEMS）流(liú)量傳感(gǎn)芯片來(lai)制作，适(shì)用于各(gè)類清潔(jie)氣體。*的(de)封裝技(ji)術👣使之(zhī)可用于(yú)各類管(guǎn)徑，成本(běn)低、易安(an)裝、不需(xū)要溫度(dù)壓力補(bǔ)償，可🎯替(tì)代容積(ji)式或壓(ya)差式的(de)傳統流(liú)量傳🌍感(gan)器。
微小(xiao)氣體流(liu)量計FS4001
MEMS
）流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò)，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuang)🎯技術使(shǐ)之🐆可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)☎️度壓力(li)補償，可(ke)替代🙇♀️容(róng)積式或(huò)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。
微(wēi)小氣體(tǐ)流量計(ji)FS4001
産(chan)品特點(diǎn)：
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傳(chuan)感器靈(ling)敏度高(gāo)
有(yǒu)極小的(de)始動流(liú)量
傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liang)計量
保(bao)證了傳(chuan)
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感(gǎn)器的高(gāo)精度計(ji)量
-
在單個(ge)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng)
,
使(shǐ)傳感器(qi)的量程(chéng)比大大(dà)提高
全量(liàng)程高穩(wěn)定性
全量(liang)程高精(jīng)度和優(you)良的重(zhong)複性
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低功(gong)耗
低壓損(sun)
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FS4001系(xi)列微小(xiǎo)流量計(jì)
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單(dān)位 |
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通 |
1.0 |
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mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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精 |
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0.25 |
% 讀數 |
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零點(dian)輸出飄(piāo)移 |
±30 |
mV |
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輸出飄(piāo)移 |
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%/oC |
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mses |
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工作電(diàn)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
線性， 模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc |
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大流(liu)量壓損(sǔn) |
350 |
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0.5 |
MPa |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
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機(jī)械接口(kǒu) |
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空(kong)氣（或其(qí)他氣體(tǐ)）， 20oC 101.325kPa |
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g |
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FS4001系列微(wei)小流量(liàng)計訂貨詳(xiang)情請： 85628522
