産品時(shí)間：2025-12-01
氣體(ti)檢測/測漏流量計(jì)傳感器靈敏度高(gao),有極小的始動流(liu)量🈲
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量計(jì)量,無需溫度壓力(lì)✏️補償,保🔴證了傳
- 感(gan)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片上實(shí)現了多傳感器集(jí)成,使傳感器的💃🏻量(liàng)程比🐕大大提高
- 傳(chuan)感器的零點穩定(dìng)度高 全量程高穩(wen)定性
氣體檢測/測漏流(liú)量計
産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shi)專門爲各類👉小流(liú)量氣體的測量和(hé)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳感(gan)器均采♋用本🔴公司(si)自主研發的微機(ji)電系統😄（MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作，适用(yòng)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
氣體(tǐ)檢測/測漏流量計(jì)産品特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有極小(xiao)的始動流量
- 傳感(gan)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需(xu)溫度壓力補償,保(bao)證了傳
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了多(duo)傳感器集成,使傳(chuán)感器的量💯程比✌️大(dà)大☂️提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quán)量程高穩定性
- 全(quan)量程高精确度和(hé)優良的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損
- 響應(ying)時間快
主要參數(shu)：
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性能參數 |
FS4001 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
%讀數(shu) |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gong)作壓力 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH（無結冰、無凝露(lù)） |
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機械接口 |
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校準方(fang)式 |
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重量 |
15 |
g |
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