氣體流量監測(ce)傳感器
産品時(shi)間:2025-12-01
簡要描述:
FS4001系(xì)列氣體流量監(jiān)測傳感器适用(yong)于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術(shù)使之可用于各(gè)類管徑,成本低(di)、易安裝、不需要(yao)溫度壓力補償(chang),可替代容積式(shi)或壓差式的傳(chuan)統流量傳感📐器(qi)。
産品簡介:
FS4001系列(liè) 氣體流量監測(ce)傳感器 是(shì)專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測(ce)量和過程控制(zhì)而設計🎯的。這一(yi)系列傳感器均(jun)采用本公司自(zi)主研發🐅的微機(ji)電系統( MEMS )流(liú)量傳感芯片來(lai)制作。
FS4001系列 氣體(ti)流量監測傳感(gan)器 适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shi)之可用于各類(lei)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wen)度壓力補償,可(ke)替代容積式或(huò)壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
産品特(tè)點:
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傳感器(qi)靈敏度高
,
有極小的始動(dong)流量
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傳感(gan)器芯片采用熱(rè)質量流量計量(liang)
,
無需溫度(dù)壓力補償
,
保證了傳
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感器的高精度(du)計量
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在單(dān)個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集(jí)成
,
使傳感(gǎn)器的量程比大(da)大提高
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傳(chuán)感器的零點穩(wen)定度高
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全(quán)量程高穩定性(xìng)
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全量程高(gao)精确度和優良(liang)的重複性
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低功耗
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低(di)壓損
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響應(ying)時間快
機(ji)械尺寸:
主要參數:
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shì) |
線性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(dà)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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