19🚩uuu㊙️ FS4001系列測量氣體流🚩量傳🚩感器-廣州迪㊙️川🚩儀器儀表有🚩限🚩公司
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FS4001系(xì)列測量(liang)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器

産品(pǐn)時間:2025-12-01

簡(jian)要描述(shu):

FS4001系列測(ce)量氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器是(shì)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qi)體⛱️的👈測(cè)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感👨‍❤️‍👨器均(jun)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò),适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。

FS4001系(xì)列測量(liang)氣體流(liu)量傳感(gan)器 是專門(men)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過程控(kòng)制而‼️設(she)🐕計的。這(zhè)一系列(lie)傳感器(qi)均采用(yong)本公司(si)自主研(yán)發的微(wēi)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻機電系(xì)統( MEMS )流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuò)。

FS4001系列測(ce)量氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器 适用(yong)于各類(lei)清潔氣(qì)體。*的封(feng)裝技術(shù)使之可(kě)用于各(gè)🙇🏻類管🔅徑(jing),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(cháng),可替代(dài)容積式(shi)或壓差(cha)式的傳(chuan)統流量(liàng)傳感器(qi)。


産品(pǐn)特點:
  - 傳感(gǎn)器靈敏(mǐn)度高 , 有極(ji)小的始(shi)動流量(liàng)
  - 傳(chuán)感器芯(xin)片采用(yòng)熱質量(liàng)流量計(ji)量 , 無需溫(wēn)度壓力(li)補償 , 保證(zheng)了傳
  - 感器(qì)的高精(jing)度計量(liàng)
  - 在(zài)單個芯(xīn)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qi)集成 , 使傳(chuán)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(ti)高
  - 傳感器(qì)的零點(dian)穩定度(du)高
  - 全量程(chéng)高穩定(dìng)性
  - 全量程(chéng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhòng)複性
  - 低功(gong)耗
  - 低壓損(sǔn)
響(xiang)應時間(jiān)快
主要參(can)數:

性能(neng)參數

FS4001

單(dan)位

1.0

mm

大流量(liàng)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比(bi)

>100:1

 

%

零點(dian)輸出飄(piāo)移

mV

±0.12

%/oC

響(xiang)應時間(jian)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電(diàn)源

8~18Vdc,50mA

 

輸出(chū)方式

 

大工(gong)作壓力(li)

0.5

MPa

工作溫(wēn)度

-10 ~ +55

oC

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oC

 

機械接(jiē)口

可拆(chai)式軟管(guan)接頭

校(xiao)準方式(shì)

 

重量(liang)

15

g

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